Theknoloji ea ho hloekisa ka laserke ts'ebeliso e atlehileng ea theknoloji ea laser lefapheng la boenjiniere. Molao-motheo oa eona oa mantlha o sebelisa matla a mangata a laser ho nolofalletsa tšebelisano lipakeng tsa mahlaseli a laser le litšila tse khomarelang li-substrate tsa mosebetsi. Litšila li aroloa ho li-substrate ka katoloso ea mocheso hang-hang, ho qhibiliha, ho fetoha ha khase le mekhoa e meng. Ka lebaka la bokhoni bo phahameng, botsoalle ba tikoloho le paballo ea matla, theknoloji ea ho hloekisa laser e sebelisitsoe ka katleho ho hloekiseng hlobo ea mabili, ho tlosa pente ea 'mele oa sefofane, ho tsosolosa masalla a setso le masimo a mang.
Mekhoa ea setso ea ho hloekisa e kenyelletsa ho hloekisa khohlano ea mechine (ho qhaqha lehlabathe, ho hloekisa jete ea metsi ka khatello e phahameng, jj.), ho hloekisa mafome ka lik'hemik'hale, ho hloekisa ka ultrasound, ho hloekisa leqhoa le omileng le tse ling. Mekhoa ena e sebelisoa haholo liindastering. Mohlala, ho qhaqha lehlabathe ho ka tlosa matheba a mafome a tšepe, li-surface burrs le lipente tse kobehileng holim'a liboto tsa potoloho ka ho khetha li-abrasives tse thata tse fapaneng. Ho hloekisa mafome ka lik'hemik'hale ho sebelisoa haholo bakeng sa ho tlosa sekala sa oli holim'a lisebelisoa, ho hloekisa sekala sa boiler le ho notlolla liphaephe tsa oli. Leha mekhoa ea setso e se e hōlile, e na le mefokolo e bonahalang: ho qhaqha lehlabathe ho senya libaka tse phekotsoeng habonolo, 'me ho hloekisa mafome ka lik'hemik'hale ho baka tšilafalo ea tikoloho 'me ho ka senya li-substrate haeba li sa sebelisoe hantle. Ho hlaha ha ho hloekisa ka laser ho tšoaea phetoho theknolojing ea ho hloekisa. Ho sebelisa matla a mangata a laser, ho nepahala le phetisetso e sebetsang hantle, ho hloekisa ka laser ho feta mekhoa ea setso ea ho hloekisa ka katleho, ho nepahala le ho beha. E felisa tšilafalo ea tikoloho e bakoang ke ho hloekisa ka lik'hemik'hale 'me ha e bake tšenyo ho li-substrate.
Melao-motheo ea ho Hloekisa ka Laser
Hantle-ntle ho hlwekisa ka laser ke eng? E bua ka tshebetso ya ho tlosa thepa hodima bokahodimo bo tiileng (kapa ka dinako tse ding bo nang le metsi) ka ho bonesa mahlaseli a laser. Ka ho tjheseletsa ha laser e tlase, matla a laser a monyetsweng a futhumatsa thepa, a baka mouwane kapa sublimation. Ka ho tjheseletsa ha laser e phahameng, thepa hangata e fetoha plasma. Ho hlwekisa ka laser hangata ho sebedisa di-lasers tse pulsed bakeng sa ho tlosa thepa, le hoja mahlasedi a laser a maqhubu a sa kgaotseng a ka tlosa thepa ka matla a lekaneng. Di-lasers tse tebileng tsa excimer tsa ultraviolet, tse nang le maqhubu a bolelele ba 200 nm, di sebediswa haholoholo bakeng sa ho tshwaya difoto.
Botebo bamatla a laserho monya le bongata ba thepa e tloswang ka pulse ka 'ngoe ho itshetlehile ka thepa ya optical ya thepa, hammoho le bolelele ba leqhubu la laser le nako ya pulse. Boima bohle bo tloswang ho tloha ho sepheo ka pulse bo hlaloswa e le sekgahla sa ablation. Dibopeho tsa mahlaseli a laser tse kang lebelo la ho skena le ho kwahelwa ha mola di susumetsa haholo tshebetso ya ablation.
Mefuta ea Theknoloji ea ho Hloekisa ka Laser
1) Ho Hloekisa ka Laser
Ho hloekisa ka laser ho kenyelletsaho bonesoa ha mahlaseli a laser ka ho toba ha likarolo tsa mosebetsi. Litšila kapa li-substrate li monya matla a laser, li phahamisa mocheso oa tsona 'me li baka katoloso ea mocheso kapa ho thothomela ha mocheso oa substrate, e leng se arolang litšila ho li-substrate. Ho etsahala maemong a mabeli: ebang ke litšila tse holim'a metsi tse monyang matla a laser le ho atoloha, kapa li-substrate tse monyang matla le ho thothomela ka mocheso.
Ka 1969, SM Bedair le ba bang ba ile ba fumana hore mekhoa e tloaelehileng ea ho phekola bokaholimo (kalafo ea mocheso, ho bola ha lik'hemik'hale, ho phatloha ha lehlabathe) kaofela e ne e e-na le mefokolo. Ba hlokometse hore matla a mangata a laser a shebaneng le eona a ka fetola thepa ea bokaholimo mouoane ntle le ho senya li-substrate. Liteko li tiisitse hore laser ea ruby e fetotsoeng ka Q e nang le matla a 30 MW/cm² e ka hloekisa litšila tse tsoang holim'a silicon ntle le tšenyo ea substrate, e leng se tšoaeang ts'ebetsong ea pele ea ho hloekisa ka laser ka omileng.
Sekhahla sa tlhoekiso ka kakaretso se ka hlahiswa ka sekgahla sa ho arohana ha ditshila tsa filimi, jwalo ka ha ho bontshitswe ka tlase:
(Foromo: ε—lenaneo la matla a pulse la laser; h—lenaneo la botenya ba filimi e silafatsang; lenaneo la modulus ea elastic ea E—film)
2) Ho Hloekisa ka Lesedi ka Laser
Pele ho mahlaseli a laser a pulsed, filimi ea metsi e koaheloa esale pele holim'a karolo ea mosebetsi. Matla a laser a futhumatsa filimi le ho e etsa mouoane ka potlako, a hlahisa leqhubu la tšohanyetso le tlosang likaroloana tse silafetseng ho substrate. Mokhoa ona ha o hloke karabelo ea lik'hemik'hale pakeng tsa substrate le filimi ea metsi, e leng se fokotsang thepa ea eona e sebetsang.
Ka 1991, K. Imen le ba bang ba ile ba sebetsana le litšila tse setseng tsa submicron holim'a li-wafer tsa semiconductor le litšepe kamora ho hloekisoa ka mokhoa o tloaelehileng. Ba ile ba koahela li-substrate ka filimi e monyang laser 'me ba li khantša ka laser ea CO₂. Filimi e ile ea monya matla, ea futhumatsoa kapele, ea belisoa 'me ea etsoa mouoane o phatlohang, ea tlosa litšila tse holim'a metsi - sena se hlalosa ho hloekisoa ka metsi ka laser.
3) Ho Hloekisa Leqhubu la Shockwave la Laser Plasma
Maqhubu a plasma a laser a thehoa ha li-laser li etsa hore moea o be maqhubu a plasma a chitja nakong ea mahlaseli. Maqhubu ana a shockwave a otla li-substrate, a lokolla matla a ho tlosa litšila ntle le ho senya substrate (li-laser ha li sebelisane ka ho toba le li-substrate). Theknoloji ena e hloekisa likaroloana tse nyane tse ka bang mashome a li-nanometer 'me ha e behe lithibelo holim'a bolelele ba leqhubu la laser.
Melao-motheo ea 'mele ea ho hloekisa plasma e akaretsoa ka tsela e latelang:
a) Mahlasedi a laser a monngoa ke lera le silafetseng holim'a sebaka se reretsoeng.
b) Ho monya matla a mangata ho bopa plasma e ntseng e hola ka potlako (khase e sa tsitsang e nang le ioni e ngata), e hlahisang maqhubu a tshohanyetso.
c) Maqhubu a modumo a arohanya le ho tlosa ditshila.
d) Li-pulse tsa laser li lokela ho ba khutšoanyane ho lekana ho qoba ho bokellana ha mocheso ho senyang substrate.
e) Liteko li bontša libopeho tsa plasma holim'a tšepe ha li-oxide li le teng.
Ho hlahisoa ha plasma ho etsahala feela kaholimo ho moeli oa matla a mangata, o itšetlehileng ka lera le silafetseng kapa la oxide le lokelang ho tlosoa. Moeli oa bobeli o phahameng o teng, oo substrate e senyehang ho oona. Ho netefatsa ho hloekisoa ka katleho ntle le tšenyo ea substrate, liparamente tsa laser li tlameha ho fetoloa ho boloka matla a pulse a le mangata pakeng tsa meeli e 'meli.
Ka 2001, JM Lee le ba bang ba ile ba sebelisa maqhubu a plasma a tsoang ho li-laser tse shebaneng le matla a phahameng. Laser e nang le pulsed e nang le matla a 2.0 J/cm² (e fetang moeli oa tšenyo ea silicon) e ile ea khantša li-wafer tsa silicon ka nako e le 'ngoe, ea tlosa likaroloana tsa tungsten tse 1 μm ka katleho. Ha e le hantle, ho hloekisa maqhubu a plasma ea laser ke karolo e nyenyane ea ho hloekisa ka omileng.
Qalong e ntshetsitswe pele ho tlosa dikarolwana tse nyane ho di-wafer tsa semiconductor, mahlale ana a mararo a ho hlwekisa ka laser a atolohile ho hlwekisa hlobo ya mabili, ho tlosa pente ya letlalo la sefofane, ho tsosolosa masalla a setso le tse ding. Khase e se nang letho e ka foka hodima di-substrate nakong ya ho bonesa ka laser ho tlosa hanghang ditshila tse kgaotsweng, ho thibela ho ntshuwa ha tsona hape le ho kenngwa ha oksijene.
Litšebeliso tsa Theknoloji ea ho Hloekisa ka Laser
1) Indasteri ea Semiconductor: Ho Hloekisa Li-wafer tsa Semiconductor le Li-substrate tsa Optical
Li-wafer tsa semiconductor le li-substrate tsa optical li feta mehatong e tšoanang ea ts'ebetso (ho seha, ho sila) ho etsa libopeho tse lakatsehang, tse hlahisang litšila tse nyenyane tse thata ho li tlosa le tse ka 'nang tsa senyeha habonolo. Litšila tse holim'a li-wafer li sitisa boleng ba khatiso ea potoloho 'me li khutsufatsa nako ea bophelo ba chip. Li-substrate tsa optical, li senya ts'ebetso ea sesebelisoa sa optical le coating, e leng se bakang kabo e sa lekanang ea matla le bophelo bo fokotsehileng ba ts'ebeletso.
Ho hlwekisa ka laser ha ho sebelisoe hangata mona ka lebaka la likotsi tsa tshenyo ya substrate, athe ho hlwekisa ka metsi le ho hlwekisa ka plasma shockwave ho na le ditshebediso tse ngata tse atlehileng. Xu Chuanyi le ba bang ba kentse pente ya makenete ya micron-scale e le filimi ya dielectric hodima di-substrate tse boreledi haholo tsa optical, mme ba fihlella tlhoekiso e sebetsang ya laser e nang le pulsed. Le hoja dikarolwana tse se nang hlweko di ile tsa eketseha, boholo ba tsona le kgaso ya tsona di ile tsa fokotseha haholo. Zhang Ping o ithutile ditlamorao tsa sebaka sa ho sebetsa le matla a laser hodima bokgoni ba ho hlwekisa bakeng sa dikarolwana tsa boholo bo fapaneng. Diteko di bontshitse hore laser ya 240 mJ e fihletse tlhoekiso e ntle ya dikarolwana tsa polystyrene khalaseng e tsamaisang motlakase sebakeng sa mosebetsi sa 1.90 mm. Bokgoni ba ho hlwekisa bo ntlafetse ka matla a phahameng a laser, mme dikarolwana tse kgolo di ne di le bonolo ho di tlosa.
2) Indasteri ea Tšepe: Ho Hloekisa Tšepe Bokaholimo
Ho hlwekisa bokaholimo ba tshepe ho shebana le ditshila tse kgolo: mealo ya oxide/mafome, pente, dikobo le dihokelo tse ding, tse arotsweng ka sehlopha sa ditshila tsa tlhaho (pente, dikobo) kapa tse sa pheleng (mafome). Ho hlwekisa ho fihlela ditlhoko tse latelang tsa tshebetso/tshebediso: mohlala, ho tlosa mealo ya oxide e teteaneng ya 10 μm ho tswa ho di-alloy tsa titanium pele ho tjheseletsa, ho tlosa pente letlalong la sefofane bakeng sa ho penta botjha, le ho hlwekisa masalla a rabara ho tswa ho di-mold tsa mabili ho netefatsa boleng ba sehlahiswa le nako ya bophelo ba hlobo.
Litšepe li na le meeli e phahameng ea tšenyo ho feta meeli ea tsona ea ho hloekisa e silafatsang, e leng se nolofalletsang ho hloekisa ka katleho ka li-laser tse tsamaisoang ka matla a nepahetseng. Litšebeliso tse hōlileng tsebong li kenyelletsa: Wang Lihua le ba bang ba bontšitse hore laser ea 5.1 J/cm² e tlositse mekhahlelo ea oxide ho tsoa ho motsoako oa aluminium oa A5083-111H ha e ntse e boloka boleng ba substrate, 'me laser ea pulsed ea 100 W e hloekisitse mekhahlelo ea titanium alloy oxide ka katleho le ho ntlafatsa thatafalo ea bokaholimo. Bahlahisi ba malapeng (Raycus Laser, Han's Laser, Shenzhen Chuangxin) ba fana ka lisebelisoa tsa ho hloekisa laser haholo bakeng sa hlobo ea rabara, mafome a tšepe le ho tlosoa ha oli ka karolo.
3) Paballo ea Li-Relic tsa Setso: Ho Hloekisa Li-Relic tsa Setso le Lintho tsa Khale tsa Pampiri
Masalla a setso a tshepe le a lejwe a bokella ditshila, matheba a enke le ditshila tse ding ha nako e ntse e ya, tse hlokang ho tloswa ho tsosolosa ponahalo ya pele. Dintho tsa bohlokwa tsa pampiri (ditshwantsho, mongolo o ngotsweng ka letsoho) di hlahisa hlobo le dipolaka nakong ya polokelo e sa lokelang, e leng se senyang boemo ba tsona le boleng ba setso/nalane haholo.
Zhao Ying le ba bang ba netefalitse ho hlwekiswa ha di-plaque tsa hlobo ka laser ya UV pampiring ya raese: ho skena hanngoe ho 3.2 J/mm² ho tlositse di-plaque tse tshesane, ha di-scan tse pedi di ile tsa tlosa ka ho feletseng; matla a mangata a laser a ile a senya pampiri. Zhang Xiaotong o ile a atleha ho tsosolosa ntho ya boronse e entsweng ka kgauta a sebedisa mokgwa wa ho ntsha metsi ka laser. Zhang Licheng o ile a sebedisa ho hlwekiswa ha laser ho setshwantsho sa letsopa sa basadi se pentiloeng ho tswa ho Leloko la Han. Yuan Xiaodong le ba bang ba ile ba lekola katleho ya ho hlwekiswa ha laser bakeng sa masalla a majwe, ba bapisa tshenyo ya substrate le katleho ya ho tloswa ha enke, mosi le matheba a pente hodima lejwe la lehlabathe.
Qetello
Ho hlwekisa ka laser ke theknoloji e tsoetseng pele e nang le dipatlisiso tse pharaletseng le menyetla ya tshebediso difofaneng, disebedisweng tsa sesole, di-elektroniki le mafapheng a mang a nepahetseng haholo. E hodile diindastering tse ngata ka lebaka la bokgoni ba yona, botsoalle ba tikoloho le diphetho tse ntle tsa ho hlwekisa, ditshebediso tsa yona di ntse di atoloha. Ka nqane ho ho tloswa ha pente le mafome, kgatelopele ya moraorao e kenyeletsa ho hlwekisa ka laser ya dikarolo tsa oxide dithapong tsa tshepe. Ntshetsopele ya nakong e tlang e itshetlehile ka ho atolosa ditshebediso tse seng di ntse di le teng, ho kena masimong a matjha le ho hlahisa disebediswa tse ntjha:
- Matlafatsa dipatlisiso tsa thuto ya kelello ho tataisa ditshebediso tse sebetsang. Dipatlisiso tsa hajwale di itshetlehile haholo ditekong, di haella moralo wa thuto ya kelello o hodileng. Ho theha moralo o jwalo ho bohlokwa bakeng sa kgolo ya theknoloji.
- Atolosa lits'ebetso masimong a seng a ntse a le teng le a macha. Ts'ebeliso e ntseng e hola ea ho tlosa pente/mafome e kenyelletsa ho hloekisa oxide ea terata ea tšepe, ho fana ka mobu o nonneng bakeng sa kholo.
- Hlahisa disebediswa tse ntjha tsa ho hlwekisa ka laser, tse fapanyetsanang ho ba disebediswa tse akaretsang tse nang le merero e mengata (mohlala, ho tlosa pente/mafome a kopantsweng) le disebediswa tse ikgethang (mohlala, disebediswa/difaeba tse ikgethang bakeng sa dibaka tse kwalletsweng). Boiketsetso bo felletseng ka ho kopanngwa le diroboto tsa diindasteri ke tataiso e tshepisang.
Nako ea poso: Mots'eanong-14-2026
